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PMAC 이송오차 Position Error backlash (HAPPY Z-axis (step motion test) )

leepa 2016.12.20 19:19 조회 수 : 32738

keyword : 이송, 변위, 스테이지, 스텝, step, 오차, 이송테스트, 측정, 이송, 변위 측정

 

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Backrash가 없는 상태에서 실행했음.

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